PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
SILICON AFM PROBES

全世界使用最寬闊的、名譽最好的、質量高的
SPM、AFM探針

Pointprobe® 探針

Pointprobe® 側視圖

懸臂的梯形橫截面以及因此較寬的30%(例如NCH)懸臂檢測器側面可以使激光調整更加輕鬆快捷。另外,由於僅存在更多的空間來放置和反射激光束,因此可以獲得更高的SUM信號。

Pointprobe® 探針 (標准)

標准Pointprobe® 探針的形狀是多邊棱錐體的。
探針的宏觀半錐角沿著懸臂軸為 20°至25°﹔從側面看為25°至30°﹔在探針的最
末端部事實上為零度 。
Pointprobe® 探針高度為10 – 15 μm, 針尖半徑典型地比 8 nm 好(比保証的 12 nm 小)

概況

  • 用於高分辨掃描成像的SPM、AFM探針
  • 適合於所有著名商業SPM和AFM系統
  • 單晶硅支架支撐著懸臂和探針
  • 支架、懸臂、針尖等的單塊設計

材料特點

  • 高度摻雜單晶硅 (電阻率為0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 沒有內部壓力,並帶完全挺直的懸臂
  • 可以用於液體或者電化學細胞的化學惰性硅

懸臂梁

  • 梯形截面的長方形懸臂梁
  • 廣闊的探測邊面為了激光束的簡單調整
  • 小的針尖邊面寬度減少阻尼

支架

  • 懸臂跟硅支架成一體
  • 支架的規格可復制的(3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm)
  • 硅支架背上的調節凹槽與定標芯片協辦、保証探針更換時不需要激光
    束的較大重復調整

包裝規格

  • 裝10、20、50個掃描探針的小包裝
  • 裝380至388個掃描探針(看產品種類)的整個圓片包裝

可供涂層

鋁反射涂層

  • 在懸臂梁背面上加30 nm厚的鋁涂層
  • 由2.5系數改善激光束的反射率
  • 預防懸臂裡的光線干涉

硬磁性的+軟磁性的涂層

  • 硬磁性的涂層:在探針部上加鈷合金 涂層
  • 軟磁性的涂層:在探針部上加軟磁性 的涂層 (矯頑磁力大概為0.75 Oe,頑
    磁大概為225 emu/cm³)
  • 探針是永久磁化的

SuperSharpSiliconTM 探針 (SSS)

高深寬比探針 (AR5)

傾斜補償 (AR5T)
高深寬比探針 (AR5T)

金剛石涂層探針 (DT, CDT)

SuperSharpSilicon™ 探針 (SSS)

為了改善微粗糙度和納米結構的分辨,我們研制了先進的探針制造過程﹔通過這種制造
過程可以再一步改善針尖的尖銳度,甚至包括探針半徑為 2 nm的那麼小的。
通過這些AFM探針我們使技術領域再一步寬大。

探針特點

探針高度為10 -15 μm SuperSharpSilicon™的典型半徑大概為 2 nm
我們保証探針半徑小於 5 nm (保証成功率:80%)。在探針的最末200 nm半錐角小於10°。



高深寬比探針 (AR5/AR5T)

測量側面角進於90°的樣品時,比如測量深槽或者別的半導體應用,我們提出兩種不同
的高縱橫比探針,可以成像幾乎豎式的側壁。
這種針尖的總共高度為10 - 15 μm,就可以測量波紋形的樣品。在探針的最末千分尺有高
深寬比部分, 這個部分如果從側面看或者從沿著懸臂軸看是對稱的。探針半徑典型地為
10 nm (小於保証的 15 nm )。

探針特點

AR5 / AR5T探針的高深寬比部分大於2 μm,深寬比典型地為7:1 (保証最低深寬比為5:1)。
因此,高深寬比部分的半錐角典型小於5°。 另外,從中心軸看 AR5T 版的高深寬比部分
傾斜度為13°,因此可以達到完全對稱的成像。







金剛石涂層探針 (DT), 導電金剛石涂層探針 (CDT)

為那些要求探針和樣品的硬性接觸的SPM、AFM應用,我們推薦我公司的金剛石涂層探
針(DT)。
摩擦力測量、樣品彈性性能的測量以及磨損測量或納米結構測量等作為典型的應用。導
電金剛石涂層探針(CDT)還可提供導電的非鈍化涂層。

探針、涂層特點

在懸臂梁的探針表面帶真實多晶金剛石涂層 ——具有無與倫比的金剛石硬度。探針高度
為10 - 15 μm,金剛石層厚度為 100 nm。 探針的宏觀半徑為100 - 200 nm,不過探針經
常有10 nm大的納米表面粗糙度。如果用 CDT ,導電率為 0.003 - 0.005 Ohm•cm。

 

金剛石涂層

  • 懸臂梁末端的100 nm厚的多
     晶金剛石涂層
  • 無與倫比的探針硬度
  • CDT的電阻 <10 kOhm

PtIr5 涂層

  • 在掃描探針兩側面上帶25 nm厚的
    鉻/鉑銥5層
  • 應力補償、耐磨的
  • 探測器側面的涂層由系數2提高激光
    束的反射率
  • 可以做電氣測量

黃金涂層 (如有需要即可提供)

  • 在懸臂梁背面上帶70 nm厚的鉻/
     金涂層
  • 在探針兩側面上帶70 nm厚的
    鉻/金涂層