ARROW Silicon-afm-probes

ARROW™
硅AFM探针

通过针尖视界的最大化可以优化地定位

Arrow™ Top View

Arrow™ Front View

Arrow™ Side View

 

概况

  • 用于高分辨扫描成像的SPM、AFM探针
  • 适合于所有著名商业SPM和AFM
  • 单晶硅支架支撑着悬臂和针尖(单块设计)

材料特点

  • 高度掺杂单晶硅 (电阻率为0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 没有内部压力，并带完全挺直的悬臂
  • 可以用于液体或者电化学细胞的化学惰性硅

悬臂

  • 长方形悬臂具有三角形的自由端
  • 由于 Arrow™形状，兴趣区的定位很容易
  • 针尖与悬臂端中间有一致距离
  • 宽广背面的梯形截面，为了简单地调整激光

支架

  • 支架的规格可复制的(1.6 mm x 3.4 mm)
  • 支架的刻蚀角落避免支架和样品中间的接触

Tip

  • 针尖高度为 10 - 15 µm，曲率半径典型< 10 nm (保证的 < 15 nm)
  • 探针的宏观半锥角
    - 沿着悬臂轴为30° 至 35°
    - 从侧面看为20°至25°

包装规格

  • 装 10、20、50个扫描探针的小包装
  • 装380个扫描探针 (看产品种类) 的整个圆片包装

可供涂层

反光涂层

  • 在悬臂后面加30 nm
    厚的铝涂层
  • 由2.5系数改善激光束的
    反射率

PtIr5 涂层

  • 在扫描探针两侧面上带25 nm厚的铬/铂 铱5层
  • 可以做电学测量

如有需要即可提供别的标准SPM、AFM探针的涂层

ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

ArrowTM UHF

Arrow™ UHF 三维视图

 

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) 是一种带四面体的针尖和三角形的悬臂，能用到 2.0 MHz超高频谐振的硅SPM、AFM探针。


Arrow™ UHF 悬臂长度为 35 µm，基区宽度为42 µm。悬臂厚度可以做0.6 -1.0 µm厚。 针尖高度为 3 µm。


如果需要的话，可以选择误差比较小的具体悬臂厚度，另加收费。

Arrow™ TL (用于特殊应用的无针尖悬臂)

Arrow™ TL 的SPM、AFM探针有一种无针尖悬臂，可以用于特殊应用。 比如，这种悬臂可以用于在自由端挂球体或者别的东西，或者可以用于传感应用、功能应用。

Arrow™ 系列的所有扫描探针用高度掺杂单块硅做的，就可以消散静电荷；这些探针是化学惰性的。

ArrowTM 无针尖产品系列 (ArrowTM TL) 包括带一个悬臂的或带三角形自由端的2个或8个一排长方形悬臂的。
还可以选择在上面带5 nm钛/30 nm 金涂层的Arrow™ TL。




悬臂数据 值 范围
厚度 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
宽度 (长方形部分) 100 µm 95 - 105 µm
长度 500 µm 495 - 505 µm
力常数 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
谐振频率 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
在硅支架上带无针尖悬臂，一个悬臂梁

Arrow™ TL2
在单晶硅支架上带一排无针尖悬臂，两个悬臂梁

Arrow™ TL8
在单晶硅支架上带一排无针尖悬臂，八个悬臂梁