PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
SILICON AFM PROBES

全世界使用最宽阔的、名誉最好的、质量高的
SPM、AFM探针

Pointprobe® 探针

Pointprobe® 侧视图

悬臂的梯形横截面以及因此较宽的30%(例如NCH)悬臂检测器侧面可以使激光调整更加轻松快捷。另外,由于仅存在更多的空间来放置和反射激光束,因此可以获得更高的SUM信号。

Pointprobe® 探针 (标准)

标准Pointprobe® 探针的形状是多边棱锥体的。
探针的宏观半锥角沿着悬臂轴为 20°至25°;从侧面看为25°至30°;在探针的最
末端部事实上为零度 。
Pointprobe® 探针高度为10 – 15 μm, 针尖半径典型地比8 nm 好(比保证的12 nm小)

概况

  • 用于高分辨扫描成像的SPM、AFM探针
  • 适合于所有著名商业SPM和AFM系统
  • 单晶硅支架支撑着悬臂和探针
  • 支架、悬臂、针尖等的单块设计

材料特点

  • 高度掺杂单晶硅 (电阻率为0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 没有内部压力,并带完全挺直的悬臂
  • 可以用于液体或者电化学细胞的化学惰性硅

悬臂梁

  • 梯形截面的长方形悬臂梁
  • 广阔的探测边面为了激光束的简单调整
  • 小的针尖边面宽度减少阻尼

支架

  • 悬臂跟硅支架成一体
  • 支架的规格可复制的(3.4 mm x 1.6 mm x 0.3 mm)
  • 硅支架背上的调节凹槽与定标芯片协办、保证探针更换时不需要激光 束的较大重复调整

包装规格

  • 装10、20、50个扫描探针的小包装
  • 装380至388个扫描探针(看产品种类)的整个圆片包装

可供涂层

铝反射涂层

  • 在悬臂梁背面上加30 nm厚的铝涂层
  • 由2.5系数改善激光束的反射率
  • 预防悬臂里的光线干涉

硬磁性的+软磁性的涂层

  • 硬磁性的涂层:在探针部上加钴合金 涂层
  • soft magnetic coating: soft magnetic coating on the tip side (coercivity of app. 0.75 Oe, remanence magnetization of app. 225 emu/cm3)
  • 软磁性的涂层:在探针部上加软磁性 的涂层 (矫顽磁力大概为0.75 Oe,顽 磁大概为225 emu/cm³)

SuperSharpSiliconTM 探针 (SSS)

高深宽比探针 (AR5)

倾斜补偿 AR5T
高深宽比探针 (AR5T)

金刚石涂层探针 (DT, CDT)

SuperSharpSilicon™ 探针 (SSS)

为了改善微粗糙度和纳米结构的分辨,我们研制了先进的探针制造过程;通过这种制造过程可以再一步改善针尖的尖锐度,甚至包括探针半径为 2 nm.的那么小的。
通过这些AFM探针我们使技术领域再一步宽大。

探针特点

探针高度为10 -15 μm SuperSharpSilicon™的典型半径大概为 2 nm.
我们保证探针半径小于 5 nm (保证成功率:80%)。在探针的最末200 nm半锥角小于10°。



高深宽比探针 (AR5/AR5T)

测量侧面角进于90°的样品时,比如测量深槽或者别的半导体应用,我们提出两种不同 的高纵横比探针,可以成像几乎竖式的侧壁。
这种针尖的总共高度为10 - 15 μm,就可以测量波纹形的样品。在探针的最末千分尺有高 深宽比部分, 这个部分如果从侧面看或者从沿着悬臂轴看是对称的。探针半径典型地为 10 nm (小于保证的 15 nm )。

探针特点

AR5 / AR5T探针的高深宽比部分大于2 μm,深宽比典型地为7:1 (保证最低深宽比为5:1)。 因此,高深宽比部分的半锥角典型小于5°。 另外,从中心轴看 AR5T 版的高深宽比部分 倾斜度为13°,因此可以达到完全对称的成像。
因此,为了补偿商用AFM中最常见的13°倾斜角,AR5T的高深宽比部分相对于探针的中心轴倾斜13°。





金刚石涂层探针 (DT), 导电金刚石涂层探针 (CDT)

为那些要求探针和样品的硬性接触的SPM、AFM应用,我们推荐我公司的金刚石涂层探针(DT)。
摩擦力测量、样品弹性性能的测量以及磨损测量或纳米结构测量等作为典型的应用。导电金刚石涂层探针(CDT)还可提供导电的非钝化涂层。

探针、涂层特点

在悬臂梁的探针表面带真实多晶金刚石涂层 ——具有无与伦比的金刚石硬度。探针高度为10 - 15 μm,金刚石层厚度为 100 nm。 探针的宏观半径为100 - 200 nm,不过探针经常有10 nm大的纳米表面粗糙度。如果用 CDT ,导电率为 0.003 - 0.005 Ohm•cm。

 

金刚石涂层

  • 悬臂梁末端的100 nm厚的多晶金刚石涂层
  • 无与伦比的探针硬度
  • CDT的电阻<10 kOhm

PtIr5 涂层

  • 在扫描探针两侧面上带25 nm厚的 铬/铂铱5层
  • 应力补偿、耐磨的
  • 探测器侧面的涂层由系数2提高激光 束的反射率
  • 可以做电气测量

黄金涂层 (如有需要即可提供)

  • 在悬臂梁背面上带70 nm厚的铬/金涂层
  • 在探针两侧面上带70 nm厚的 铬/金涂层