PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
SILICON AFM PROBES

Sonda de AFM e SPM de alta qualidade, mais utilizada
e mais conhecida no todo mundo

Ponta Pointprobe

Pointprobe Vista Lateral

Pointprobe Vista 3D

Pointprobe® Tip (Standard)

A ponta Pointprobe® (Standarte) tem forma de pirâmide com base poligonal. O seu ângulo semicónico macroscópico é de 20° a 25° visto ao longo do eixo do cantilever, 25° a 30° visto lateralmente e practicamente zero na extremidade da ponta. A ponta Pointprobe® tem altura de 10 - 15 µm con raio típico menor de 8 nm (garantido menor de 12 nm).

Geral

  • sonda de SPM e AFM para visualizações de muito alta resolução
  • compatível com todos os conhecidos SPMs e AFMs comerciais
  • o cantilever e a ponta são suportados por um chip portador de silício monocristalino (modelo monolítico)

Características do Material

  • silício monocristalino altamente dopado (resistência 0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • sem tensão intrínseca, cantilevers absolutamente rectos
  • silício quimicamente inerte para aplicação em fluidos ou células eletromagnéticas

Cantilever

  • cantilever rectangular com secção transversal de forma trapezoidal
  • a parte do lado do detector é larga para facilitar o ajuste do láser
  • a largura do lado da ponta é pequena o que reduz a amplitude das vibrações

Chip portador

  • o cantilever está integrado num chip portador de silício
  • as dimensões do chip portador são muito reprodutíveis (1.6 mm x 3.4 mm)
  • com ranhuras de alinhamento na parte posterior do chip portador de silício. Utilizadas em conjunto com o chip de alinhamento facilitam a substituição das sondas, sem necessidade de reajustes significativos do feixe do láser

Dimensões dos contentores

  • contentores pequenos de 10, 20 ou 50 sondas
  • wafer completo com 380 até 388 sondas dependente do produto

Revestimentos disponíveis

Revestimento reflexivo

  • revestimento de alumínio com espessura de 30 nm, na parte posterior do cantilever
  • aumenta a reflectância do láser com factor 2.5
  • prevem a interferência da luz no cantilever

Revestimento magnético duro + macio

  • revestimento magnético duro: liga de cobalto do lado da ponta
  • magnetização permanente da ponta
  • revestimento magnético macio:
    do lado da ponta (coercibilidade aprox. 0.75 Oe, magnetização remanente aprox. 225 emu/cm3)

Ponta SuperSharpSilicon™ (SSS)

Ponta High Aspect Ratio (AR5)

Tilt Compensated AR5T

Ponta com revestimento de diamante (DT, CDT)

SuperSharpSilicon™ Tip (SSS)

Para melhor resolução das micro-rugosidades e nanoestruturas temos elaborado um processo eficaz de fabricação de pontas que melhora a sua acuidade com raio da ponta até 2 nm. Com estas pontas de AFM temos chegado até os límites tecnológicos.

Características da ponta

A altura da ponta é de 10 -15 µm, o raio típico de SuperSharpSilicon™ é aprox. 2 nm. Garantimos um raio menor de 5 nm (éxito garantido: 80%). O ângulo semicónico é menor de 10° nos últimos 200 nm da ponta.

Ponta High Aspect Ratio (AR5/AR5T)

Para medição de amostras com ângulos laterais cerca de 90°, por ex. medições de concavida- des profundas ou outras aplicações semicondutoras oferecemos dois tipos diferentes de pontas que permitem a visualização de superficies laterais quase verticais. Estas pontas têm altura total de 10 - 15 µm, que permite medições de amostras com muitas rugosidades. Nos últimos micrómetros as pontas mostram uma parte com alto coeficiente de comprimen- to que é simêtrica quando vista lateralmente ou ao longo do eixo do cantilever. O raio da ponta típico é de 10 nm (raio garantido menor de 15 nm).

Características da ponta

A parte com coeficiente alto de comprimento da ponta AR5 / AR5T é maior de 2 µm e mostra coeficiente típico de comprimento de 7:1 (o coeficiente mínimo garantido é de 5:1). Por consequência, o ângulo semicónico da parte com coeficiente alto de comprimento é típicamente menor de 5°. Além disto, a parte com alto coeficiente de comprimento da versão AR5T está inclinada 13° relativamente ao eixo central da ponta o que permite obter uma imagem absolutamente simêtrica.

Ponta com Revestimento de Diamante (DT), Ponta com Revestimento de Diamante Conductivo (CDT)

Para as aplicações SPM e AFM que exigem contacto duro entre a sonda e a amostra recomendamos a nossa ponta Diamond Coated (DT). As suas aplicações mais típicas são: as medições da força de fricção, da elasticidade das amostras, assim como medições do desgaste ou da nanoestruturação. A ponta Conductive Diamond Coated (CDT) oferece também revestimento conductor não passivado.

Características da ponta e do revestimento

Revestimento de diamante policristalino verdadeiro do lado da ponta proporciona a dureza insuperável do diamante. A altura da ponta é de 10 - 15 µm, a espessura da camada de diamante é aprox. 100 nm. O raio macroscópico da ponta é entre 100 - 200 nm, mas muitas vezes a ponta mostra nano-rugosidades de aprox.10 nm.
No caso de CDT a conductividade é entre 0.003 - 0.005 Ohm.cm.

 

Revestimento de diamante

  • revestimento de diamante policristalino com espessura de 100 nm do lado da ponta
  • a dureza da ponta é insuperável

Revestimento de PtIr5

  • camada de 25 nm de crómio/platina-irídio 5 dos dois lados da sonda de varredura
  • compensa a tensão e resiste ao desgaste
  • o revestimento na parte posterior do cantilever aumenta a reflectância do feixe do láser com factor 2.
  • permite medições elétricas

Revestimento de Ouro (a pedido)

  • revestimento de crómio/ouro de 70 nm na parte posterior do cantilever
  • revestimento de crómio/ouro de 70 nm dos dois lados da sonda