スーパーシャープシリコン探針(SSS)

高アスペクト比探針(AR5)

角度補正タイプ (AR5T)

ダイヤモンドコート探針 (DT, CDT)

スーパーシャープシリコン探針 (SuperSharpSilicon™)

スーパーシャープシリコン(SSS)探針は先端曲率半径を2 nm以下まで先鋭に加工し、マイクロラフネス，ナノ粒子，ピッチの小さいパターンなどのナノ構造観察に最適です

探針の特徴

スーパーシャープシリコン(SSS)探針は高さ10 -15 µm、先端曲率半径は2 nm (代表値) 以下、5 nm以下を歩留まり80%で保証します。先端から200 nmの位置までのハーフコーンアングルは10°以下。

高アスペクト比探針 (AR5/AR5T)

探針先端部のアスペクト比を向上させた高アスペクト比プローブ(AR5/AR5T)は、傾斜角が90°に近い大きな溝・孔や様々な半導体デバイスの表面形状測定に最適です。 探針全体の高さは10 -15 µm。探針先端の数ミクロンが高アスペクト比に加工されています。この先鋭部分は対象性が良く、カンチレバー正面、側面のどちから見た場合でもプロファイルに違いはありません。先端曲率半径は10 nm (代表値)、15 nm以下を保証します。

探針の特徴

AR5/AR5Tプローブの高アスペクト比部分は先端より2 µm以上あり、この部分のアスペクト比は7:1 (代表値)、少なくとも5:1以上を保証します。 高アスペクト比部分のハーフコーンアングルは5° (代表値) 以下です。 AR5Tプローブは、SPM・AFMにセットした時に探針先端部が垂直を向くよう、高アスペクト比部分を13°角度補正しています。

ダイヤモンドコート探針(DT)、導電ダイヤモンドコート探針(CDT)

摩擦力顕微鏡や試料の弾性係数測定、耐磨耗性が要求される測定やナノストラクチャリングなどのSPM・AFMアプリケーションにはダイヤモンドコート探針(DT)が最適です。試料との強い接触力のもと電流を流すアプリケーションなどには導電ダイヤモンドコート探針(CDT)をお勧めします。スキャンによるコーディング膜の磨耗や高電流による膜破壊を低減させています。

探針とコーティング膜の特徴

最硬度の多結晶ダイヤモンド膜(100 nm)をカンチレバーの探針側にコーティング。探針の高さは10 -15 µm。探針を巨視的に見た場合の先端曲率半径は100 nm – 200 nm。ただし約10 nm程度のラフネスが局所的に存在します。導電ダイヤモンドコート探針(CDT)の抵抗率は
0.003 - 0.005 Ohm•cm。