PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
硅AFM探针

全世界使用最宽阔的、名誉最好的、质量高的 SPM、AFM探针

Pointprobe 针尖

Pointprobe 侧视图

Pointprobe 三维视图

Pointprobe® 针尖 (标准)

标准Pointprobe® 探针的形状是多边棱锥体的。 探针的宏观半锥角沿着悬臂轴为 20°至25°;从侧面看为25°至30°;在针尖的最末端部事实上为零度 。 Pointprobe® 探针高度为10 – 15 µm, 针尖半径典型地 比8 nm 好(比保证的12 nm小)。

概况

  • 用于高分辨扫描成像的SPM、AFM探针
  • 适合于所有著名商业SPM和AFM
  • 单晶硅支架支撑着悬臂和针尖
  • 支架、悬臂、针尖等的单块设计

材料特点

  • 高度掺杂单晶硅 (电阻率为0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 没有内部压力,并带完全挺直的悬臂
  • 可以用于液体或者电化学细胞的化学惰性硅

悬臂

  • 梯形截面的长方形悬臂
  • 广阔的探测边面为了激光束的简单调整
  • 小的针尖边面宽度减少阻尼

支架

  • 悬臂跟硅支架成一体
  • 支架的规格可复制的(1.6 mm x 3.4 mm)
  • 硅支架背上的调节凹槽与定标芯片的协办保证探针更换时不需要激光 束的较大重复调整

包装规格

  • 装10、20、50个扫描探针的小包装
  • 装380至388个扫描探针(看产品种类)的整个圆片包装

可供涂层

反光涂层

  • 在悬臂背面上加30 nm厚的铝涂层
  • 由2.5系数改善激光束的反射率
  • 预防悬臂里的光线干涉

硬磁性的+软磁性的涂层

  • 硬磁性的涂层:在针尖部上加钴合金涂层
  • 针尖是永久磁化的
  • 软磁性的涂层:在针尖部上加软磁性的涂层 (矫顽磁力大概为0.75 Oe,顽磁大概为225 emu/cm3)

如有需要即可提供别的标准SPM、AFM探针的涂层

SuperSharpSilicon 针尖 (SSS)

High Aspect Ratio 针尖 (AR5)

Tilt compensated AR5T

Diamond Coated 针尖 (DT, CDT)

SuperSharpSilicon™ 针尖 (SSS)

为了改善微粗糙度和纳米结构的分辨,我们研制了先进的针尖制造过程;通过这种制造过程可以再一步改善针尖的尖锐度,甚至包括针尖半径为2 nm的那么小的。通过这些针尖我们使技术领域再一步宽大。

针尖特点

针尖高度为10 -15 µm SuperSharpSilicon™的典型半径大概为2 nm。

我们保证针尖半径小于5 nm (保证成功率:80%)。在针尖的最末200 nm半锥角小于10°。

High Aspect Ratio 针尖 (AR5/AR5T)

测量侧面角进于90°的样品时,比如测量深槽或者别的半导体应用,我们提出两种不同的高纵横比针尖,可以成像几乎竖式的侧壁。
这种针尖的总共高度为10 - 15 µm,就可以测量波纹形的样品。在针尖的最末千分尺有高纵横比部分, 这个部分如果从侧面看或者从沿着悬臂轴看是对称的。针尖半径典型地为10 nm (小于保证的15 nm)。

针尖特点

AR5 / AR5T针尖的高纵横比部分大于2 µm,纵横比典型地为7:1 (保证起码的纵横比为5:1)。
因此,高纵横比部分的半锥角典型小于5°。 另外,从中心轴看 AR5T 版的高纵横比部分倾斜度为13°,因此可以达到完全对称的成像。

Diamond Coated 针尖 (DT), Conductive Diamond Coated 针尖 (CDT)

为那些要求探针和样品的硬性接触的SPM、AFM应用,我们推荐我公司的Diamond Coated针尖 (DT) 。摩擦力测量、样品弹性性能的测量、磨损测量、纳米结构测量等作为典型的应用。Conductive
Diamond Coated针尖(CDT) ) 另外提供导电的、钝化的涂层。

针尖、涂层特点

在悬臂的针尖表面带真实多晶金刚石涂层 ——具有无法比拟的金刚石硬性。针尖高度为10 - 15 µm,金刚石层厚度为 100 nm。 针尖的宏观半径为100 - 200 nm,不过针尖经常有10 nm大的纳米表面
粗糙度。如果用 CDT ,导电率为 0.003 - 0.005 Ohm•cm。

 

金刚石涂层

  • 在针尖表面带100 nm 厚的 多晶金刚石涂层
  • 针尖具有无法比拟的硬性

PtIr5 涂层

  • 在扫描探针两侧面上带25 nm厚的 铬/铂铱5层
  • 可以做电学测量
  • 探测部分上的涂层由系数2提高激光 束的反射率
  • 应力补偿、耐磨的

金涂层 (如有需要即可提供)

  • 在悬臂背面上带70 nm 厚的铬/金 涂层
  • 在探针两侧面上带70 nm厚的 铬/金涂层