ARROW Silicon-afm-probes

ARROW™
Кремниевые АСМ зонды

оптимизированная расстановка через
максимизированную видимость иглы

Arrow™ вид сверху

Arrow™ вид спереди

Arrow™ вид со стороны

 

Основное

  • СЗМ и АСМ зонды для отображения с очень высоким разрешением
  • подходит ко всем известным промышленным СЗМ и АСМ
  • Монокристаллический кремниевый чип (монолитный дизайн) поддерживает кантилевер и иглу

Особенности материала

  • высоко легированный монокристаллический кремний (удельное сопротивление 0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • Без внутреннего напряжения и с абсолютно прямыми кантилеверами
  • Химически инертный кремний для приложения в текучих средах или электрохимических клетках

Кантилевер

  • Прямоугольный кантилевер с треугольным свободным концом
  • удобное расположение кончика в области интереса благодаря форме Arrow™
  • стабильное расстояние между иглой и концом кантилевера
  • трапециевидное поперечное сечение с широкой задней стороны для удобного регулирования лазера

Чип

  • Размеры чипа - легко воспроизводимые (1.6 mm x 3.4 mm)
  • травлёные углы чипа исключают контакта между чипом и образцом

Tip

  • высота иглы 10 - 15 µm, а радиус кривизны типично < 10 nm (< 15 nm гарантировано)
  • Mакроскопическиe углы полуконуса
    - От 30° до 35°, если смотреть вдоль оси кантилевера,
    - От 20° до 25°, если смотреть со стороны

Упаковочные размеры

  • маленькие упаковки по 10, 20 или 50 сканирующих зондов
  • полная подложка с 380 сканирующих зондов

Наличные покрытия

Отражательное покрытие

  • 30 nm алюминиевое покрытие на задней стороне кантилевера
  • увеличивает с фактором 2.5 коэффициент отражения лазерного луча

PtIr5 покрытие

  • 25 nm двойное покрытие из хрома и платины иридий5 с обеих сторон сканирующего зонда
  • позволяет электрические измерения

Предлагаются другие покрытия по желанию

ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

ArrowTM UHF

Arrow™ UHF трехмерный вид

 

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) - кремниевый СЗМ и АСМ зонд с четырёхгранным острием и треугольным кантилевером, способный к резонированию с ультравысокой частотой до 2.0 МГц.


Кантилевер Arrow™ UHF имеет длину 35 µm и ширину базы 42 µm. Возможна толщина кантилевера между 0.6 µm и 1.0 µm. Высота иглы - 3 µm.


По заявке, определенные толщины кантилевера подбираются в пределах очень узкого допуска, за дополнительную плату за выбор.

Arrow™ TL (Кантилеверы без иглы для специальных приложений)

У СЗМ и АСМ зондов Arrow™ TL есть кантилеверы без иглы для специальных приложений. Они могут, например, использоваться для того, чтобы прикреплять сферы и другие объекты к свободному концу кантилевера, или для приложения функционализирования и чувствительных приложений. Все сканирующие зонды серии Arrow™ сделаны из монолитного кремния, который высоко легирован, чтобы рассеивать электростатический заряд, и химически инертен.

Продукты серии ArrowTM без иглы (ArrowTM TL) предлагаются или с 1 кантилевером или с комплектом кантилеверов, состоящий из 2 или 8 прямоугольных кантилеверов с треугольным свободным концом. Arrow™ TL предлагаются по выбору с покрытием на верхней стороны из 5 nm титана/ 30 nm золота.

Кантилевер Величина Диапазон
Толщина 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
Ширина (прямоугольная часть) 100 µm 95 - 105 µm
Длина 500 µm 495 - 505 µm
Силовая константа 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
Резонансная частота 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
Кантилевер без иглы, одна балка кантилевера на кремниевом чипе

Arrow™ TL2
Комплект кантилеверов без иглы, двое балок кантилевера на монокристаллическом кремниевом чипе

Arrow™ TL8
Комплект кантилеверов без иглы, восемь балок кантилевера на монокристаллическом кремниевом чипе