ARROW Silicon-afm-probes

ARROW™
SILICON AFM PROBES

팁을 최대한 많이 보이게 하여 포지셔닝을 최적화

Arrow™ 위쪽

Arrow™ 앞면

Arrow™ 측면

 

General

  • 매우 높은 해상도(High resolution)의 SPM과AFM프로브
  • 잘 알려진 상용화된 주사탐침현미경(SPM)과 원자현미경(AFM)에 적합하다
  • 싱글 크리스탈(단결정) 실리콘 지지 칩(한 덩어리로 된 디자인)으로 지지되는 캔틸레버와 팁

Material Features

  • 높게 도핑된 싱글 크리스탈 실리콘(resistivity 0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 본질적으로 변형이 없고 완전히 곧은 캔틸레버
  • 액중 또는 전기화학적 세포등의 응용분야(application)을 위한 화학적 불활성화 실리콘

Cantilever

  • 끝부분이 삼각형으로 된 직사각형 캔틸레버
  • Arrow™ 모양으로 관심영역에 팁의 포지셔닝이 용이하다.
  • 팁과 캔틸레버끝 사이의 일정한 거리
  • 레이져 조정이 용이한 사다리꼴의 단면적의 넓은 후면

Support Chip

  • 지지 칩의 치수(1.6 mm x 3.4 mm)의 재현성이 좋다
  • 지지 칩과 샘플 사이의 접촉을 피하기 위하여 지지 칩의 모서리부분을 etched

Tip

  • 팁 높이 10-15 µm과 반경 일반적으로 10nm이하(15nm이하 보증)
  • 거시적 반원뿔 각 캔틸레버 축따라 30° 에서 35°로 보이고, 측면으로부터 20° 에서 25°로 보인다

Package Sizes

  • 10,20,50의 프로브가 들어있는 작은 포장 단위
  • 웨이퍼는 최소 380프로브가 들어있다

AVAILABLE COATINGS

Reflex Coating

  • 캔틸레버 후면의 30 nm 두께의 알루미늄코팅
  • 2.5 factor로 레이져빔의
    반사율 강화

PtIr5 Coating

  • 프로브 양면모두 크로듐, 플레티늄 이리듐5의 25nm두께의 이중 레이어
  • 전기적 측정 가능

요청에 따라 스탠다드 프로브에 다른 코팅들 가능.

ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

ArrowTM UHF

Arrow™ UHF 3D 보기

 

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) 는 초고 주파수 2.0 MHz 까지 의 공명이 가능한
삼각형 캔틸레버와 사면체로 된 실리콘 SPM과 AFM프로브


Arrow™ UHF 캔틸레버는 35 µm 길이와 42µm 의 너비, 캔틸레버 두께는 0.6 과 1.0 µm 사이, 팁 높이는 3 µm


추가비용으로 특정한 캔틸레버 두께 (매우 작은 오차 내)를 선택할 수 있다

Arrow™ TL (Tipless Cantilevers for Special Applications)

Arrow™ TL은 SPM과 AFM프로브는 특별한 응용분야(application)의 팁 없는 캔틸레버이다
팁 없는 캔틸레버 끝에 다른 물체(object)나 부착된 구(spheres) 또는 기능적으로 센싱 응용분야(application) 에 사용될 수 있다
Arrow™ 시리즈의 모든 주사하는 프로브들은 전기적 충전을 방지하기 높게 도핑
되었고 화학적으로 불활성화되어 있다

ArrowTM 팁 없는 시리즈(ArrowTM TL)은 하나의 캔틸레버 또는 캔틸레버 끝이
삼각형인 2개에서 8개로 구성된 직사각형 캔틸레버 배열이(array) 가능하다





Cantilever Data Value Range
Thickness 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
Width (rectangular part) 100 µm 95 - 105 µm
Length 500 µm 495 - 505 µm
Force Constant 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
Resonance Frequency 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
팁 없는 캔틸레버, 실리콘 지지 칩에 싱글 캔틸레버 빔

Arrow™ TL2
팁 없는 캔틸레버 정렬,싱글 크리스탈 실리콘 지지 칩 에 2개 캔틸레버 빔

Arrow™ TL8
팁 없는 캔틸레버 정렬, 싱글크리스탈 실리콘 지지 칩 에 8개 캔틸레버 빔