PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
SILICON AFM PROBES

세계적으로 가장 많이 사용되고 최고의 품질로
유명한 SPM/AFM 프로브

Pointprobe 팁

Pointprobe 측면

Pointprobe 3D 보기

Pointprobe® Tip (Standard)

표준 Pointprobe® 팁은 다각형 기반 피라미드 모양
캔틸레버 축을 따라 보이는 거시적인 반원뿔의 각도는 20° 에서 25° , 옆면으로부터 보일 때는 25° 에서 30° 팁맨끝에서 거의 제로이다 Pointprobe® 팁은 10 - 15 µm 높이이고 팁 반경은 일반적으로 8 nm보다 낫다(적어도12nm 보증함)

General

  • 매우 높은 해상도의 SPM과AFM프로브
  • 잘 알려진 상용화된 주사탐침현미경(SPM)과 원자현미경(AFM)에 적합
  • 싱글 크리스탈 실리콘 지지 칩으로 지지되는 캔틸레버와 팁
  • 팁, 캔틸레버, 지지 칩의 모놀리식 디자인

Material Features

  • 도핑농도가 높은 싱글 크리스탈 실리콘 (resistivity 0.01 - 0.025 Ohm.cm)
  • 본질적으로 스트레스가 없고(no intrinsic stress) 완전히 곧은 캔틸레버
  • 액중 또는 전기화학적 세포등의 응용을 위한 화학적 불활성화 실리콘

Cantilever

  • 사다리꼴 단면도의 직사각형 캔틸레버
  • 레이져 빔의 조정을 용이하게 하기 위한 넓은 감지면
  • 팁side 의 작은 폭은 댐핑 감소

Support Chip

  • 캔틸레버는 칩을 지지하는 실리콘에 통합
  • 지지 칩의 치수 (1.6 mm x 3.4 mm)는 재현성이 좋다
  • 레이져빔의 주조정장치를 크게 재조정 하지 않고 프로브 교체가 가능한 조정Chip과 연결된 실리콘 지지 칩의 뒷면에 조정 홈

Package Sizes

  • 10,20,50의 프로브가 들어있는 작은 포장단위
  • 제품에 따라 웨이퍼는380에서388프로브가 들어있다

AVAILABLE COATINGS

Reflex Coating

  • 캔틸레버의 반사면에 30nm 두께의 알루미늄코팅
  • 2.5factor에 의한 레이저 빔의 반사율을 강화한다
  • 캔틸레버내에서 빛의 간섭을 방지한다

Hard Magnetic + Soft Magnetic Coating

  • 강자화코팅: 팁 사이드에 코발트합금코팅
  • 팁의 영구 자성
  • 소프트 자화 코팅: 팁 사이드 소프트자화 코팅 (0.75Oe의, 포화보자력(coercivity)과 225 emu/cm3의 잔류자성)

요청에 따라 스탠다드 프로브에 다른 코팅들 가능.

SuperSharpSiliconTM Tip (SSS)

High Aspect Ratio Tip (AR5)

Tilt compensated AR5T

Diamond Coated Tip
(DT, CDT)

SuperSharpSilicon™ Tip (SSS)

마이크로거칠기와 나노구조(nanostructure)의 해상도를 강화하기 위하여 최첨단기술인 우리의 AFM 팁은 팁 반경을 2 nm만큼 작고 보다 향상되고 앞선 팁 제조프로세스로 개발하였다

Tip Features

팁의 높이는 10 μm에서 15 μm 사이다 SuperSharpSilicon™ tip 의 일반적인 반경은 약
2nm이다. 팁 반경이 5nm보다 작다는 것을 보증한다 (보증범위: 80%)
반원뿔의 각도는 팁 의 끝부분은 200 nm에서 10˚ 보다 작다

High Aspect Ratio Tip (AR5/AR5T)

측벽(sidewall)의 각도가 90°에 이르는 샘플의 측정 시 , 깊은 트렌치측정 또는 다른
반도체 응용,등 거의 수직의 사이드월(측벽)이 보이는 두가지 다른 형태의 높은
가로세로비의 팁(High Aspect Ratio tip)을 제공한다
이러한 팁들은 전반적으로 10 – 15 µm높이이고 매우 골진 샘플의 측정이 가능하다.
팁의 마지막 몇 마이크로미터에서 높은 가로세로비의 부분이 보인다 캔틸레버 축뿐
아니라 측면으로부터 보일 때 대칭이다. 팁 반경은 일반적으로 10 nm이며 (15nm보다
작다는 것을 보증한다)

Tip Features

High aspect ratio portion의 AR5 / AR5의 팁은 2 µm보다 크며 보편적으로 7:1의
가로세로비(aspect ratio )를 보여준다 (최소 가로세로비는 5:1을 보증한다.
따라서 반 원뿔 각의 가로세로비 부분은 일반적으로 5°보다 작다.
더군다나 높은 가로세로비부분의AR5T 버전은 팁의 중심축에13°기울어서
전적으로 대칭적 이미지를 얻을 수 있다

Diamond Coated Tip (DT), Conductive Diamond Coated Tip (CDT)

SPM 과 AFM응용분야에서 프로브와 샘플사이에 강한 접촉이 요구될 때 Diamond Coated Tip (DT)을 추천합니다. 마찰측정, 샘플의 탄성속성측정,마모측정, 나노스트럭처링과 같은 응용분야에 적합
하다. 또한 Conductive Diamond Coated Tip (CDT)
Non-passivated 코팅으로 전도성을 제공합니다.

Tip and Coating Features

탁월하게 강한 다이아몬드의 팁 사이드에 실제 폴리크리스탈린 다이아몬드코팅.
10-15 µm 높이와 다이아몬드 층의 두께는 대략 100nm입니다
거시적인 팁 반경은 100 – 200 nm범위이다. 그러나 팁은 흔히 10nm에서 나노거칠기를 나타낸다 이 경우 CDT전도성의 범위는 0.003 - 0.005 Ohm•cm이다

 

Diamond Coating

  • 팁 사이드에 폴리크리스탈
    린 다이아몬드 100nm 두께 코팅
  • 팁의 탁월한 강도

PtIr5 Coating

  • 프로부 앞 뒷면 모두 25nm 층의 크로듐/플레티늄 이리듐5코팅
  • 스트레스 보정과 내마모성
  • 2factor의 레이져빔으로 탐지면 코팅으로 반사율 강화
  • 전기측정 가능

Gold Coating (on request)

  • 캔틸레버 후면에 70nm두께의 크로뮴/골드코팅
  • 프로브 양쪽 면 모두 70nm두께의 크로뮴/골드 코팅