パイレックス・ナイトライド
(PYREX-NITRIDE) AFMプローブ

探針の先鋭さと耐摩耗性を向上

パイレックス・ナイトライドAFMプローブ: 探針先端のSEMイメージ

パイレックス・ナイトライドAFMプローブ: トライアングルタイプの3Dスケッチ

パレックス・ナイトライドAFMプローブ: 短冊形タイプの3Dスケッチ

 

特徴

  • 幅広いアプリケーション向け汎用SPM・AFMプローブ
  • 市販されているほぼ全てのSPMで使用可能
  • シリコンナイトライド(窒化シリコン)で作製されたカンチレバーと探針
  • パイレックスガラス製のサポートチップ
  • 個々のチップに切り分けられているので、取り扱いが容易

材質

  • 低応力の窒化シリコンを用いカンチレバーのたわみを低減
  • 窒化シリコンは非常に硬いため、耐摩耗性に優れています。

カンチレバー

  • 短冊形(シングルビーム)タイプとトライアングル形の2種類のプローブが用意されて
    います。4本のカンチバーが1つのサポートチップに形成されています。
  • カンチレバー背面にCr/Auの反射コーティング
  • カンチレバーのたわみを2°以下に補正済み

サポートチップ

  • パイレックスサポートチップ寸法: 3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm
  • サポートチップ毎に切り分けられているので取り扱いが容易

探針

  • 低温酸化によるモールドシャープニング技術を用いて形成された探針
  • 探針高さ3.5 µm、先端曲率半径は10 nm(代表値)以下。
  • 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは35°

パッケージサイズ

  • 20, 50本/パッケージ

コーティング各種

Auコート

  • カンチレバー背面にCrとAuからなる
    65 nmの2層膜をコート
  • レーザ光の反射を向上させます。
  • カンチレバーの両面にCrとAuからなる 35 nmの2層膜をコート
 

パイレックス・ナイトライド
(PYREX-NITRIDE) AFMプローブ

トライアングル形カンチレバー(PNP-TR)
短冊形(シングルビーム)カンチレバー(PNP-DB)

トライアングル形カンチレバー
(PNP-TR)

  • 三角形状をしたカンチレバー
  • 1チップに4本のカンチレバー
  • 長さの異なる2つのカンチレバーの組み合わせをチップ両 端に形成
  • カンチレバー背面にCr/Auの反射膜をコーティング
  • プローブ両面にCr/Auをコーティングしたタイプも用 意されています。
  • カンチレバー先端に探針を形成しないティップレスタイ プで、背面にCr/Auをコーティングしたプローブも御座い ます。
  • ティップレスタイプで、カンチレバー両面にCr/Auをコー ティングしたプローブも用意されています。
カンチレバー番号 1 2
形状 トライアングル形状
厚さ* 600 nm 600 nm
長さ 100 µm 200 µm
2 x 13.5 µm 2 x 28 µm
バネ定数 0.32 N/m 0.08 N/m
共振周波数 67 kHz 17 kHz

*コーティングの厚さも含みます。
注:上記の値は全て代表値です。

短冊形(シングルビーム)カンチレバー
(PNP-DB)

  • 短冊形状のシングルビーム・カンチレバー
  • 1チップに4本のカンチレバー
  • 長さの異なる2つのカンチレバーの組み合わせをチ ップ両端に形成
  • カンチレバー背面にCr/Auの反射膜をコーティング







カンチレバー番号 1 2
形状 短冊形状
厚さ* 600 nm 600 nm
長さ 100 µm 200 µm
40 µm 40 µm
バネ定数 0.48 N/m 0.06 N/m
共振周波数 67 kHz 17 kHz

*コーティングの厚さも含みます。
注:上記の値は全て代表値です。

パイレックス・ナイトライドプローブ: トライアングル形、ティップレスカンチレバー

パイレックス・ナイトライドプローブ: トライアングル形、ティップレス・ロングカンチレバー

パイレックス・ナイトライドプローブ: トライアングル形、ティップレス・ショートカンチレバー