パイレックス・ナイトライド
(PYREX-NITRIDE) AFMプローブ
探針の先鋭さと耐摩耗性を向上
パイレックス・ナイトライドAFMプローブ: 探針先端のSEMイメージ
パイレックス・ナイトライドAFMプローブ: トライアングルタイプの3Dスケッチ
パレックス・ナイトライドAFMプローブ: 短冊形タイプの3Dスケッチ
特徴
- 幅広いアプリケーション向け汎用SPM・AFMプローブ
- 市販されているほぼ全てのSPMで使用可能
- シリコンナイトライド（窒化シリコン）で作製されたカンチレバーと探針
- パイレックスガラス製のサポートチップ
- 個々のチップに切り分けられているので、取り扱いが容易
材質
- 低応力の窒化シリコンを用いカンチレバーのたわみを低減
- 窒化シリコンは非常に硬いため、耐摩耗性に優れています。
カンチレバー
- 短冊形（シングルビーム）タイプとトライアングル形の２種類のプローブが用意されて
います。４本のカンチバーが１つのサポートチップに形成されています。
- カンチレバー背面にCr/Auの反射コーティング
- カンチレバーのたわみを2°以下に補正済み
サポートチップ
- パイレックスサポートチップ寸法: 3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm
- サポートチップ毎に切り分けられているので取り扱いが容易
探針
- 低温酸化によるモールドシャープニング技術を用いて形成された探針
- 探針高さ3.5 µm、先端曲率半径は10 nm（代表値）以下。
- 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは35°
パッケージサイズ
コーティング各種
Auコート
- カンチレバー背面にCrとAuからなる
65 nmの2層膜をコート
- レーザ光の反射を向上させます。
- カンチレバーの両面にCrとAuからなる 35 nmの2層膜をコート
パイレックス・ナイトライド
(PYREX-NITRIDE) AFMプローブ
トライアングル形カンチレバー(PNP-TR)
短冊形（シングルビーム）カンチレバー(PNP-DB)
トライアングル形カンチレバー
(PNP-TR)
- 三角形状をしたカンチレバー
- １チップに4本のカンチレバー
- 長さの異なる２つのカンチレバーの組み合わせをチップ両 端に形成
- カンチレバー背面にCr/Auの反射膜をコーティング
- プローブ両面にCr/Auをコーティングしたタイプも用 意されています。
- カンチレバー先端に探針を形成しないティップレスタイ
プで、背面にCr/Auをコーティングしたプローブも御座い ます。
- ティップレスタイプで、カンチレバー両面にCr/Auをコー
ティングしたプローブも用意されています。
| カンチレバー番号 |
1 |
2 |
| 形状 |
トライアングル形状 |
| 厚さ* |
600 nm |
600 nm |
| 長さ |
100 µm |
200 µm |
| 幅 |
2 x 13.5 µm |
2 x 28 µm |
| バネ定数 |
0.32 N/m |
0.08 N/m |
| 共振周波数 |
67 kHz |
17 kHz |
*コーティングの厚さも含みます。
注:上記の値は全て代表値です。 |
短冊形（シングルビーム）カンチレバー
(PNP-DB)
- 短冊形状のシングルビーム・カンチレバー
- １チップに4本のカンチレバー
- 長さの異なる２つのカンチレバーの組み合わせをチ
ップ両端に形成
- カンチレバー背面にCr/Auの反射膜をコーティング
| カンチレバー番号 |
1 |
2 |
| 形状 |
短冊形状 |
| 厚さ* |
600 nm |
600 nm |
| 長さ |
100 µm |
200 µm |
| 幅 |
40 µm |
40 µm |
| バネ定数 |
0.48 N/m |
0.06 N/m |
| 共振周波数 |
67 kHz |
17 kHz |
*コーティングの厚さも含みます。
注:上記の値は全て代表値です。 |
パイレックス・ナイトライドプローブ: トライアングル形、ティップレスカンチレバー
パイレックス・ナイトライドプローブ: トライアングル形、ティップレス・ロングカンチレバー
パイレックス・ナイトライドプローブ: トライアングル形、ティップレス・ショートカンチレバー
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