ARROW Silicon-afm-probes

アロー( ARROW™)
シリコンAFMプローブ

観察したい場所へ探針を位置合わせするのが容易

Arrow™ Top View

Arrow™ Front View

Arrow™ Side View

 

特徴

  • 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ
  • 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能
  • カンチレバー、探針、サポートチップを単結晶シリコンより一体に形成

材質

  • 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗値 0.01 - 0.025 Ohm・cm)
  • コーティングなしの場合、固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない
  • 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製

カンチレバー

  • カンチレバーがArrow (矢)の形状をしたプローブ
  • 矢印形状の特徴を活かし、探針を目的の観察場所近傍に位置合わせするのが容易
  • カンチレバー先端から探針までの距離はどのプローブでも同じ
  • カンチレバーの断面形状は台形、背面の幅が広くレーザーの位置合せが容易

サポートチップ

  • サポートチップ寸法: 1.6 mm x 3.4 mm
  • サポートチップが試料に接触するのを避けるためにコーナーをエッチングしてい ます。

Tip

  • 探針高さ10 - 15 µm、先端曲率半径10 nm (代表値) 以下 (15 nm以下を保証)
  • 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは以下の通り 30°- 35°(正面から
    見た場合) 20°- 25° (サイドから見た場合)

パッケージサイズ

  • 10, 20, 50本/パッケージ
  • ウエハ単位 (380本以上)

コーティング各種

反射コーティング

  • カンチレバー背面にAl(30 nm)をコート
  • レーザー光の反射率が約2.5倍に向上

PtIr5コーティング

  • CrとPtIr5からなる25 nmの2層膜をカンチレバー両面にコーティング
  • 電気測定(電気力顕微鏡,電流測定等)の用途に最適

その他のコーティングについてはお問い合わせください。

超高共振周波数プローブ (ARROW™ UHF)
ティップレスカンチレバー、カンチレバーアレイ(ARROW™ TL)

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF 拡大図

 

超高共振周波数プローブ (Arrow™ UHF)

Arrow™ UHF (ultra high frequency)は、三角錐の探針を備えた三角形状のプローブです。共振周波数が2.0 MHz近傍の値を持つように設計されています。

Arrow™ UHFカンチレバーの長さは35 µm、サポートチップにつながるベース幅は42 µm。カンチレバー厚さは0.6 – 1.0 µm。探針高さは3 µm。

カンチレバーの厚さがお客様ご希望の範囲に収まっているプローブのみを選別し提供するサービスも有償にて行っております。



ティップレスカンチレバー (Arrow™ TL)

Arrow™ TLはカンチバー先端に探針を形成しない、スペシャルアプリケーション向けプローブです。

ユーザー自身でカンチレバー先端に粒子などを修飾することが可能。サンプル表面と修飾した物質との間の相互作用を測定する場合などに最適。 Arrow™シリーズのプローブは高濃度にドープされた単結晶シリコン製。帯電を防ぎ、液中・電気化学測定にも対応します。 ティップレスカンチレバー(Arrow™TL)にはシングル、デュアル、8本アレイの3種類があります。何れも先端が三角形状をした矩形型カンチレバーです。 カンチレバー上面をTi (5 nm)とAu (30 nm)からなる2層膜でコーティングしたプローブも承ります (特注品)。





カンチレバー仕様 範囲
厚さ 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
幅(矩形部分) 100 µm 95 - 105 µm
長さ 500 µm 495 - 505 µm
バネ定数 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
共振周波数 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
ティップレスカンチレバー
(シングル)

Arrow™ TL2
ティップレスカンチレバー
(デュアル)

Arrow™ TL8
ティップレスカンチレバー
(8本アレイ)