特徴

• 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ
• 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能
• カンチレバー、探針、サポートチップを単結晶シリコンより一体に形成

材質

• 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗値 0.01 - 0.025 Ohm・cm)
• コーティングなしの場合、固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない
• 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製

カンチレバー

• カンチレバーがArrow (矢)の形状をしたプローブ
• 矢印形状の特徴を活かし、探針を目的の観察場所近傍に位置合わせするのが容易
• カンチレバー先端から探針までの距離はどのプローブでも同じ
• カンチレバーの断面形状は台形、背面の幅が広くレーザーの位置合せが容易

サポートチップ

• サポートチップ寸法: 1.6 mm x 3.4 mm
• サポートチップが試料に接触するのを避けるためにコーナーをエッチングしてい ます。

Tip

• 探針高さ10 - 15 µm、先端曲率半径10 nm (代表値) 以下 (15 nm以下を保証)
• 巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは以下の通り 30°- 35°(正面から
  見た場合) 20°- 25° (サイドから見た場合)

パッケージサイズ

• 10, 20, 50本/パッケージ
• ウエハ単位 (380本以上)