PointProbe Silicon AFM Probes

ポイントプローブ(POINTPROBE®
シリコンAFMプローブ

世界中のお客様から最も多くの信用をいただいているSPM・AFMプローブです。

Pointprobe Tip

Pointprobe Side View

Pointprobe 3D View

Pointprobe® (標準探針)

シリーズの標準探針は多角錘形状をしています。 正面から巨視的に見た場合のハーフコーンアングルは20°- 25°、サイドから見た場合は25°- 30°。先端近傍を微視的に見た場合はゼロに近い値です。 Pointprobe®の標準探針は高さ10 -15 µm、先端曲率半径8 nm (代表値) 以下、 12 nm以下を保証します。

特徴

  • 高分解能測定のためのシリコンSPM・AFMプローブ
  • 市販されているほぼ全てのSPM・AFMで使用可能
  • 単結晶シリコン(Si)製のサポートチップの縁に探針のついたカンチレバーを配置
  • カンチレバー、探針、サポートチップを一体に形成

材質

  • 高ドープ、単結晶シリコン(抵抗値 0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • コーティングなしの場合、固有のストレスがなくカンチレバーのたわみがない
  • 液中・電気化学測定にも対応できる化学的に不活性なシリコン製

カンチレバー

  • カンチレバーの断面形状は台形
  • カンチレバー背面の幅が広く、レーザーの位置合せが容易
  • 探針側のカンチレバー幅を小さくし、ダイナミックモードでのエアダンピングを低減

サポートチップ

  • カンチレバーがサポートチップに集積化された形に作製
  • サポートチップ寸法: 1.6 mm x 3.4 mm
  • サポートチップ背面に溝が形成されており、装置側に固定されるアライメントチップと同時に利用することで、プローブ交換後に必要なレーザーの位置調整を容易にします。

パッケージサイズ

  • 10, 20, 50本/パッケージ
  • ウエハ単位 (プローブ数は380から388本)

コーティング各種

反射コーティング

  • カンチレバー背面にAl(30 nm)をコート
  • レーザー光の反射率が約2.5倍に向上
  • プローブ背面で反射されるレーザー光と試料表面で反射される光の干渉を軽減

強磁性膜・軟磁性膜コーティング

  • 強磁性膜コート: 探針側にコバルト合金をコーティング
  • 探針に永久磁性を持たせることのできるコーティング
  • 軟磁性膜コート: 探針側に軟磁性膜 (保磁力 約0.75 Oe、磁化度約225 emu/cm3) をコーティング

その他のコーティングについてはお問い合わせください。

スーパーシャープシリコン探針(SSS)

高アスペクト比探針(AR5)

角度補正タイプ (AR5T)

ダイヤモンドコート探針 (DT, CDT)

スーパーシャープシリコン探針 (SuperSharpSilicon™)

スーパーシャープシリコン(SSS)探針は先端曲率半径を2 nm以下まで先鋭に加工し、マイクロラフネス,ナノ粒子,ピッチの小さいパターンなどのナノ構造観察に最適です

探針の特徴

スーパーシャープシリコン(SSS)探針は高さ10 -15 µm、先端曲率半径は2 nm (代表値) 以下、5 nm以下を歩留まり80%で保証します。先端から200 nmの位置までのハーフコーンアングルは10°以下。

高アスペクト比探針 (AR5/AR5T)

探針先端部のアスペクト比を向上させた高アスペクト比プローブ(AR5/AR5T)は、傾斜角が90°に近い大きな溝・孔や様々な半導体デバイスの表面形状測定に最適です。 探針全体の高さは10 -15 µm。探針先端の数ミクロンが高アスペクト比に加工されています。この先鋭部分は対象性が良く、カンチレバー正面、側面のどちから見た場合でもプロファイルに違いはありません。先端曲率半径は10 nm (代表値)、15 nm以下を保証します。

探針の特徴

AR5/AR5Tプローブの高アスペクト比部分は先端より2 µm以上あり、この部分のアスペクト比は7:1 (代表値)、少なくとも5:1以上を保証します。 高アスペクト比部分のハーフコーンアングルは5° (代表値) 以下です。 AR5Tプローブは、SPM・AFMにセットした時に探針先端部が垂直を向くよう、高アスペクト比部分を13°角度補正しています。

ダイヤモンドコート探針(DT)、導電ダイヤモンドコート探針(CDT)

摩擦力顕微鏡や試料の弾性係数測定、耐磨耗性が要求される測定やナノストラクチャリングなどのSPM・AFMアプリケーションにはダイヤモンドコート探針(DT)が最適です。試料との強い接触力のもと電流を流すアプリケーションなどには導電ダイヤモンドコート探針(CDT)をお勧めします。スキャンによるコーディング膜の磨耗や高電流による膜破壊を低減させています。

探針とコーティング膜の特徴

最硬度の多結晶ダイヤモンド膜(100 nm)をカンチレバーの探針側にコーティング。探針の高さは10 -15 µm。探針を巨視的に見た場合の先端曲率半径は100 nm – 200 nm。ただし約10 nm程度のラフネスが局所的に存在します。導電ダイヤモンドコート探針(CDT)の抵抗率は
0.003 - 0.005 Ohm•cm。

 

ダイヤモンドコーティング

  • 100 nmの多結晶ダイヤモンド膜を探針側にコーティング
  • 最硬度の探針

PtIr5 コーティング

  • CrとPtIr5からなる25 nmの2層膜をプローブ両面にコーティング
  • コーティングによるカンチレバーのたわみを補正しています。より高い耐摩耗性。
  • カンチレバー背面のコーティングによりレーザー光の反射率が約2倍に向上
  • 電気測定 (電気力顕微鏡,電流測定等) 用途向け

Auコーティング (特注品)

  • CrとAuからなる70 nmの2層膜をカンチレバー背面にコーティング
  • CrとAuからなる70 nmの2層膜をカンチレバー両面にコーティング