ARROW Silicon-afm-probes

ARROW™
SONDES AFM EN SILICIUM

Positionnement optimal grâce à l’excellente reproductibilité de l’emplacement de la pointe sur le levier

ArrowTM Vue du dessus

ArrowTM Vue de face

ArrowTM Vue de côté

 

Généralités

  • sonde SPM/AFM pour des images à haute résolution
  • adaptée à tous les microscopes SPM et AFM commercialisés
  • levier et pointe sont intégrés à un support en silicium monocristallin (conception monolithique)

Caractéristiques des matériaux

  • silicium monocristallin hautement dopé (resistivité 0.01 - 0.025 Ohm.cm)
  • pas de contraintes internes et levier parfaitement droit
  • silicium inerte chimiquement pour des applications en milieu liquide ou en cellule électrochimique

Levier

  • levier rectangulaire se terminant en forme de triangle
  • positionnement aisé de la pointe sur la surface d’intérêt grâce à la forme Arrow™
  • excellente reproductibilité de la distance entre la pointe et l’extrémité du levier
  • section trapézoïdale avec une large face arrière pour un alignement facilité du faisceau laser

Support de préhension

  • dimensions du support parfaitement reproductibles (1.6 mm x 3.4 mm)
  • les coins rognés du support évitent que le support ne touche l’échantillon

Pointe

  • hauteur de la pointe comprise entre 10 µm et 15 µm et rayon de courbure typiquement < 10 nm (garanti < 15 nm)
  • demi-angles d’ouverture macroscopiques
    - entre 30° et 35° suivant l’axe du levier
    - entre 20° et 25° perpendiculairement au levier

Quantités disponibles

  • boîtes comprenant 10, 20 ou 50 sondes
  • wafer entier comprenant au moins 380 sondes

REVÊTEMENTS DISPONIBLES

Revêtement réflectif

  • couche de 30 nm d’aluminium déposée sur la face arrière du levier
  • augmente la réflexion du faisceau laser d’un facteur 2.5

Revêtement conducteur (PtIr5)

  • couche de chrome et de platine-iridium5 de 25 nm d’épaisseur déposée sur les deux faces de la sonde
  • permet des mesures électriques

D’autres revêtements sont disponibles sur demande.

ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers et Cantilever Arrays (TL)

ArrowTM UHF

ArrowArrow™ UHF Vue 3D

 

Arrow™ UHF

La sonde Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) est une sonde SPM/AFM en silicium avec une pointe tétraédrique et un levier triangulaire capable de vibrer à ultra hautes fréquences (jusqu’à 2.0 MHz).

Le levier de la sonde Arrow™ UHF a une longueur de 35 µm et une largeur de base de 42 µm. Des épaisseurs de leviers comprises entre 0.6 µm et 1.0 µm sont possibles. La hauteur de la pointe est de 3 µm.

Moyennant un supplément de prix, des leviers d’épaisseur spécifique peuvent être sélectionnés avec une variation très faible.

Arrow™ TL (Tipless Cantilevers pour des applications particulières)

Les sondes SPM/AFM Arrow™ TL ont des leviers dépourvus de pointes pour des applications particulières, telles des applications de fonctionnalisation. L’absence de pointe permet la fixation de sphères ou d’autres objets à l’extrémité libre du levier.

Toutes les sondes de la série Arrow™ sont fabriquées à partir de silicium monocristallin hautement dopé afin de dissiper les charges électrostatiques. De plus, elles sont inertes chimiquement.

Les produits de la série Arrow™ sans pointe (Arrow™ TL) sont disponibles avec 1, 2 ou 8 leviers rectangulaires se terminant en forme de triangle (cantilever array).

Les sondes Arrow™ TL sont disponibles sur demande avec un revêtement de 5 nm de titane et de 30 nm d’or sur la face avant.

 
Caractéristiques du levier Valeur Variation
Epaisseur 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
Largeur (partie rectangulaire) 100 µm 95 - 105 µm
Longueur 500 µm 495 - 505 µm
Constante de Force 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
Fréquence de Résonance 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
Levier sans pointe, version à un seul levier par sonde

Arrow™ TL2
Leviers sans pointe, version à 2 leviers par sonde

Arrow™ TL8
Leviers sans pointe, version à 8 leviers par sonde