PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
SONDES AFM EN SILICIUM

Sonde SPM/AFM de haute qualité la plus utilisée et la plus
connue dans le monde

Pointe Pointprobe®

Pointprobe® Vue de côté

Pointprobe® Vue 3D

Pointprobe® Tip (Standard)

La pointe standard Pointprobe® a la forme d’une pyramide à base polygonale. Son demi-angle d’ouverture macroscopique est compris entre 20° et 25° suivant l’axe du levier, entre 25° et 30° perpendiculairement au levier et est virtuellement nul en son sommet. La pointe Pointprobe® mesure entre 10 µm et 15 µm de haut et présente un rayon de courbure typiquement plus petit que 8 nm (garanti plus petit que 12 nm).

Généralités

  • sonde SPM pour des images à très haute résolution
  • adaptée à tous les microscopes SPM et AFM commercialisés
  • levier et pointe sont intégrés à un support en silicium monocristallin
  • conception monolithique comprenant le support, le levier et la pointe

Caractéristiques des matériaux

  • silicium monocristallin hautement dopé (resistivité 0.01 - 0.025 Ohm.cm)
  • pas de contraintes internes et des leviers parfaitement droits
  • silicium inerte chimiquement pour des applications en milieu liquide ou en cellule électrochimique

Levier

  • levier rectangulaire à section trapézoïdale
  • importante surface de réflexion sur la face arrière facilitant l’alignement du faisceau laser
  • largeur réduite du côté de la pointe diminuant l’atténuation de la vibration du levier(damping)

Support de préhension

  • levier intégré à un support en silicium
  • dimensions du support parfaitement reproductibles (1.6 mm x 3.4 mm)
  • structures d’alignement sur la face arrière du support. En combinaison avec un chip d’alignement, ces structures permettent un remplacement de la sonde sans réajustements majeurs du faisceau laser

Quantités disponibles

  • boîtes comprenant 10, 20 ou 50 sondes
  • wafer entier comprenant de 380 à 388 sondes selon les produits

REVÊTEMENTS DISPONIBLES

Revêtement réflectif

  • couche de 30 nm d’aluminium déposée sur la face arrière du levier
  • augmente la réflexion du faisceau laser d’un facteur 2.5
  • empêche la lumière d’interférer à l’intérieur du levier

D’autres revêtements sont disponibles sur demande.

Revêtements magnétiques
durs + doux

  • revêtement magnétique dur: couche composée d’un alliage à base de cobalt déposée sur la face avant du levier (pointe comprise)
  • magnétisation permanente de la pointe
  • revêtement magnétique doux: couche magnétique douce déposée sur la face avant du levier (pointe comprise) (coercivité approx. 0.75 Oe, aimantation rémanante approx. 225 emu/cm3)

SuperSharpSiliconTM Tip (SSS)

High Aspect Ratio Tip (AR5)

Sonde AR5T avec compensation d’inclinaison

Diamond Coated Tip
(DT, CDT)



SuperSharpSilicon™ Tip (SSS)

Afin d’obtenir une meilleure résolution lors de mesures de microrugosités et de nanostructures, nous avons développé un procédé de fabrication d’avant-garde nous permettant d’obtenir un rayon de courbure en bout de pointe inférieur à 2 nm. Avec ces pointes, nous avons repoussé encore un peu plus les limites de la technologie.

Caractéristiques de la pointe

La hauteur de la pointe est comprise entre 10 µm et 15 µm et le rayon de courbure typique d’une pointe SuperSharpSilicon™ est d’environ 2 nm. Nous garantissons un rayon de courbure inférieur à 5 nm (rendement garanti: 80%). Le demi-angle d’ouverture est plus petit que 10° sur les derniers 200 nm de la pointe.

High Aspect Ratio Tip (AR5/AR5T)

Pour des mesures sur des échantillons avec des parois avoisinant 90°, par exemple des mesures de tranchées profondes ou d’autres applications semiconducteurs, nous proposons deux types de pointes High Aspect Ratio Tip présentant des faces quasiment verticales. Ces pointes ont une hauteur totale comprise entre 10 µm et 15 µm qui permet de réaliser des mesures sur des échantillons présentant un relief important. Les derniers microns de la pointe ont la particularité d’être symétriques dans l’axe du levier ainsi que perpendiculairement à celui-ci. Le rayon de courbure typique est d’environ 10 nm (garanti plus petit que 15 nm).

Caractéristiques de la pointe

La partie à haut rapport d’aspect de la pointe AR5/AR5T mesure plus de 2 µm de longueur et présente un rapport d’aspect de l’ordre de 7:1 (rapport d’aspect minimum de 5 :1 garanti). Ainsi, le demi-angle d’ouverture de la partie à haut rapport d’aspect est typiquement plus petit que 5°. La pointe de la version AR5T présente une partie à haut rapport d’aspect inclinée de 13° par rapport à l’axe central de la pointe. Cette particularité permet de compenser l’inclinaison de la tête du microscope afin d’obtenir des images parfaitement symétriques.

Diamond Coated Tip (DT), Conductive Diamond Coated Tip (CDT)

Pour les applications SPM et AFM impliquant des forces importantes entre la pointe et l’échantillon, nous recommandons l’utilisation de notre sonde Diamond Coated Tip (DT). Parmi les applications typiques de cette pointe, on retrouve les mesures de force, les mesures des propriétés élastiques, les mesures d’usure ainsi que la nanostructuration. La version Conductive Diamond Coated Tip (CDT) propose un revêtement conducteur non passivé.

Caractéristiques de la pointe et du revêtement

La pointe est recouverte d’une couche de véritable diamant et bénéficie ainsi de la dureté inégalée de ce matériau. La pointe mesure entre 10 µm et 15 µm de haut et l’épaisseur du revêtement de diamant est d’environ 100 nm. Le rayon de courbure macroscopique de la pointe est de l’ordre de 100 nm à 200 nm, mais la pointe présente très souvent une nano-rugosité d’environ 10 nm. La version CDT bénéficie d’une conductivité de l’ordre de 0.003 - 0.005 Ohm.cm.

 

Revêtement diamant

  • couche de diamant polycristallin de 100 nm d’épaisseur déposée sur la face avant du levier (pointe comprise)
  • dureté inégalée de la pointe

Revêtement conducteur (PtIr5)

  • couche de chrome et de platine-iridium5 de 25 nm d’épaisseur déposée sur les deux faces de la sonde
  • contraintes internes compensées et pointe résistante à l’usure
  • la couche déposée sur la face arrière du levier augmente la réflexion du faisceau laser d’un facteur 2
  • permet des mesures électriques

Revêtement or (sur demande)

  • couche de chrome et d’or de 70 nm d’épaisseur déposée sur la face arrière du levier
  • couche de chrome et d’or de 70 nm d’épaisseur déposée sur les deux faces de la sonde