ARROW Silicon-afm-probes

ARROW™
SILIZIUM-RASTERKRAFTSONDE

Einfache Positionierung durch maximierte Sichtbarkeit der Spitze

Arrow™ Draufsicht

Arrow™ Frontansicht

Arrow™ Seitenansicht

 

Allgemein

  • Messsonde für hochauflösende Aufnahmen
  • in allen gebräuchlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden
  • Haltechip aus Silizium monolithisch mit Federbalken und Spitze verbunden

Materialeigenschaften

  • hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0,01 - 0,025 Ohm•cm)
  • keine intrinsische Spannung, vollkommen gerader Federbalken
  • chemisch inertes Silizium für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen

Federbalken

  • rechteckiger Federbalken mit dreieckig zulaufendem freien Ende
  • einfache Positionierung der Spitze über der Materialprobe dank der Pfeilform des Arrow™
  • stets gleicher Abstand zwischen Spitze und Ende des Federbalkens
  • vereinfachte Einstellung des Lasers durch trapezförmigen Querschnitt mit breiter, dem Detektor zugewandter Seite

Haltechip

  • die Abmessungen des Haltchips sind sehr reproduzierbar (1,6 mm x 3,4 mm)
  • Haltechip mit angeätzten Ecken zur Vermeidung von Kontakten zwischen Chip und Materialprobe

Spitze

  • Spitzenhöhe 10 - 15 µm typischer Krümmungsradius < 10 nm (< 15 nm garantiert)
  • makroskopischer halber Öffnungswinkel:
    - 30° bis 35° in der Achse des Federbalkens
    - 20° bis 25° von der Seite betrachtet

Packungsgrößen

  • kleine Packungsgrößen zu je 10, 20 oder 50 Messsonden
  • kompletter Wafer mit mindestens 380 Messsonden

ERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN

Reflektierende Beschichtung

  • 30 nm dicke Aluminiumbeschichtung auf der Detektorseite (Rückseite) der Rasterkraftsonde
  • erhöht die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2,5

PtIr5 Beschichtung

  • insgesamt 25 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Platin-Iridium 5 (PtIr5)
  • verbessert die Leitfähigkeit und ermöglicht elektrische Messungen

Andere Beschichtungen auf Anfrage

ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

ArrowTM UHF

Arrow™ UHF 3D-Ansicht

 

Arrow™ UHF

Die Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) Rasterkraftsonde ist aus Silizium, hat einen dreieckigen Federbalken mit einer vierflächigen Spitze und kann mit ultrahohen Frequenzen von bis zu 2.0 MHz. schwingen.

Die Spitze der Arrow™ UHF Sonde ist 3 µm hoch. Der Federbalken ist 35 µm lang und an der Basis 42 µm breit. Seine Dicke liegt zwischen 0,6 µm und 1,0 µm.

Auf Wunsch selektieren wir spezifische Federbalkendicken innerhalb sehr enger Toleranzen gegen eine Gebühr.

Arrow™ TL (Federbalken ohne Spitze für spezielle Anwendungen)

Dank der spitzenlosen Federbalken sind die NanoWorld® Arrow™ TL Sonden geeignet für Spezialanwendungen. Beispielsweise können am freien Ende des Federbalkens Sphären oder andere Objekte angebracht werden. Der Federbalken kann auch funktionalisiert und als chemischer Fühler eingesetzt werden.

Alle Rasterkraftsonden der Arrow™ Serie werden aus monolithischem Silizium hergestellt. Das Silizium ist hoch dotiert um statische Aufladung abzuleiten. Die Sonden sind chemisch inert.

Die Arrow™ Tipless Sonde (Arrow™ TL) ist in drei Ausführungen erhältlich: Mit einem einzelnen Federbalken, als Array mit 2 oder mit 8 rechteckigen Federbalken. Das freie Ende der Federbalken ist jeweils dreieckig.

Der Arrow™ TL ist optional mit einer Beschichtung auf der Vorderseite aus Titan (5 nm) und Gold (30 nm) erhältlich.



Federbalken Wert Bereich
Dicke 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
Breite (rechteckiger Teil) 100 µm 95 - 105 µm
Länge 500 µm 495 - 505 µm
Kraftkonstante 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
Resonanzfrequenz 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
Spitzenloser einzelner Federbalken mit Haltechip aus Siliziumeinkristall

Arrow™ TL2
Array mit zwei spitzenlosen Federbalken mit Haltechip aus Siliziumeinkristall

Arrow™ TL8
Array mit acht spitzenlosen Federbalken mit Haltechip aus Siliziumeinkristall