Allgemein

• Messsonde für hochauflösende Aufnahmen
• in allen gebräuchlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden
• Haltechip aus Silizium monolithisch mit Federbalken und Spitze verbunden

Materialeigenschaften

• hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0,01 - 0,025 Ohm•cm)
• keine intrinsische Spannung, vollkommen gerader Federbalken
• chemisch inertes Silizium für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen

Federbalken

• rechteckiger Federbalken mit dreieckig zulaufendem freien Ende
• einfache Positionierung der Spitze über der Materialprobe dank der Pfeilform des Arrow™
• stets gleicher Abstand zwischen Spitze und Ende des Federbalkens
• vereinfachte Einstellung des Lasers durch trapezförmigen Querschnitt mit breiter, dem Detektor zugewandter Seite

Haltechip

• die Abmessungen des Haltchips sind sehr reproduzierbar (1,6 mm x 3,4 mm)
• Haltechip mit angeätzten Ecken zur Vermeidung von Kontakten zwischen Chip und Materialprobe

Spitze

• Spitzenhöhe 10 - 15 µm typischer Krümmungsradius < 10 nm (< 15 nm garantiert)
• makroskopischer halber Öffnungswinkel:
  - 30° bis 35° in der Achse des Federbalkens
  - 20° bis 25° von der Seite betrachtet

Packungsgrößen

• kleine Packungsgrößen zu je 10, 20 oder 50 Messsonden
• kompletter Wafer mit mindestens 380 Messsonden