PointProbe Silicon AFM Probes

POINTPROBE®
SILIZIUM-RASTERKRAFTSONDEN

Die weltweit am meisten verwendete Rasterkraftsonde
hoher Qualität

Pointprobe® Spitze

Pointprobe® Seitenansicht

Pointprobe® 3D-Ansicht

Pointprobe® Spitze (Standard)

Die Standard Pointprobe® Spitze hat die Form einer Pyramide mit einer polygonförmigen Basis. Der makroskopische halbe Öffnungswinkel der Spitze beträgt 20° bis 25° in der Achse des Federbalkens, 25° bis 30° von der Seite gesehen und nahezu null am äußersten Ende der Spitze. Die Pointprobe® Spitze ist 10 - 15 µm hoch und hat einen typischen Spitzenradius von kleiner als 8 nm (maximal 12 nm garantiert).

Allgemein

  • Rasterkraftsonde für hoch auflösende Aufnahmen
  • in allen gebräuchlichen und kommerziell erhältlichen Rastersondenmikroskopen zu verwenden
  • Federbalken und Spitze werden monolithisch von einem Haltechip aus Siliziumeinkristall gehalten

Materialeigenschaften

  • hochdotierter Siliziumeinkristall (spezifischer elektrischer Widerstand 0.01 - 0.025 Ohm.cm)
  • keine intrinsische Spannung, vollkommen gerader Federbalken
  • chemisch inertes Silizium, geeignet für Anwendungen in Flüssigkeiten oder elektrochemischen Zellen

Federbalken

  • rechteckiger Federbalken mit trapezförmigem Querschnitt
  • die breite, dem Detektor zugewandte Seite vereinfacht die Einstellung des Lasers
  • der geringe Querschnitt auf der Spitzenseite verringert die Dämpfung

Haltechip

  • der Haltechip aus Silizium ist monolithisch mit Federbalken und Spitze verbunden
  • die Abmessungen der Haltechips sind sehr reproduzierbar (1,6 mm x 3,4 mm).
  • Ausrichtungsgruben auf der Rückseite des Haltechips ermöglichen einen schnellen Austausch der Rasterkraftsonde ohne Neujustieren des Lasers, falls unser Alignment Chip verwendet wird.

Packungsgrößen

  • Kleinpackungen zu je 10, 20 oder 50 Rasterkraftsonden
  • ganze Wafer von 380 bis 388 Rasterkraftsonden je nach Typ

ERHÄLTLICHE BESCHICHTUNGEN

Reflektierende Beschichtung

  • 30 nm dicke Aluminiumbeschichtung auf der Detektorseite (Rückseite) der Rasterkraftsonde
  • erhöht die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2,5

Hart- und weichmagnetische Beschichtung

  • hartmagnetische Beschichtung: Spitze beschichtet mit einer Kobaltlegierung
  • permanente Magnetisierung der Spitze
  • Weichmagnetische Beschichtung der Spitze: Koerzitivfeldstärke von ca. 0,75 Oe, Remanenz von ca. 225 emu/cm3)

Andere Beschichtungen auf Anfrage

SuperSharpSiliconTM Tip (SSS)

High Aspect Ratio Tip (AR5)

Tilt compensated AR5T

Diamond Coated Tip (DT, CDT)




SuperSharpSilicon™ Tip (SSS)

Mit unserer SuperSharpSilicon™ Spitze erreichen Sie eine höhere Auflösung von Mikrorauhigkeit und Nanostrukturen. Den Spitzenradius von nur 2 nm erzielen wir mit einem innovativen Herstellungsprozess.

Spitzeneigenschaften

Die Spitzenhöhe ist 10 -15 µm und der typische Spitzenradius der SuperSharpSilicon™ Tip beträgt 2 nm (garantiert kleiner als 5 nm bei einer garantierten Ausbeute von 80%). Der halbe Öffnungswinkel über die letzen 200 nm der Spitze ist kleiner als 10°.

High Aspect Ratio Tip (AR5/AR5T)

Die High Aspect Ratio Tips wurden speziell für die Messung von Materialproben entwickelt, deren Strukturen Seitenwände mit Winkeln von annähernd 90° aufweisen, z.B. tiefe Gruben oder andere Anwendungen im Halbleiterbereich. Für solche Anwendungen bieten wir zwei verschiedene Spitzen mit einem hohen Aspektverhältnis und fast senkrechten Seitenwänden an. Diese Spitzen eignen sich mit ihrer Gesamthöhe von 10 - 15 µm für die Messung sehr rauher Materialproben. Über die letzten Mikrometer weisen die Spitzen einen Abschnitt mit sehr hohem Aspektverhältnis auf. Dieser Abschnitt ist symetrisch sowohl von der Seite gesehen als auch in der Achse des Federbalkens. Der typische Spitzenradius beträgt 10 nm (garantiert maximal 15 nm).

Spitzeneigenschaften

Der Abschnitt der AR5 Tip mit dem hohen Aspektverhältnis weist die folgenden Eigenschaften auf: Das Aspektverhältnis beträgt typischerweise 7:1 (mindestens 5:1 garantiert). Der betreffende Abschnitt der ist länger als 2 µm. Der halbe Öffnungswinkel dieses Abschnitts ist dadurch typischerweise kleiner als 5°. Darüberhinaus ist dieser Abschnitt beim AR5T um 13° geneigt, um eine absolut symmetrische Abbildung zu ermöglichen.

Diamond Coated Tip (DT), Conductive Diamond Coated Tip (CDT)

Für Anwendungen, die einen harten Kontakt zwischen der Rasterkraftsonde und der Materialprobe erfordern, empfehlen wir unsere Diamond Coated Tip (DT). Diese Spitzen eignen sich zum Beispiel für Reibungskraftmessungen, Messungen der elastischen Eigenschaften von Materialproben, Abnutzungsmessungen und die Nanostrukturierung. Das Besondere an der Conductive Diamond Coated Tip (CDT) ist ihre leitfähige, nicht passivierte Beschichtung.

Spitzen- und Beschichtungseigenschaften

Die Beschichtung mit echtem polykristallinem Diamant verleiht der Spitzenseite des Federbalkens die unübertroffene Härte von Diamanten. Die Spitzen sind 10 - 15 µm hoch. Die Diamantbeschichtung ist gegen 100 nm dick. Der makroskopische Spitzenradius liegt im Bereich von 100 - 200 nm. Die Spitze weist jedoch häufig eine Nanorauhigkeit im Bereich von 10 nm auf. Im Fall der CDT bewegt sich die Leitfähigkeit im Bereich von 0,003 - 0,005 Ohm•cm.

 

Diamantbeschichtung

  • 100 nm dicke Beschichtung mit polykristallinem Diamant auf der Spitzenseite
  • unübertroffene Härte der Spitze

PtIr5 Beschichtung

  • insgesamt 25 nm dick beschichtet mit Chrom und mit Platin-Iridium 5 (PtIr5)
  • ohne Verbiegung und verschleissbeständig
  • die Beschichtung der dem Detektor zugewandten Seite verstärkt die Reflektanz des Laserstrahls um den Faktor 2
  • ermöglicht elektrische Messungen

Gold (auf Anfrage)

  • insgesamt 70 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf der Rückseite des Federbalkens
  • insgesamt 70 nm dicke Beschichtung mit Chrom und mit Gold auf beiden Seiten der Messsonde